新型LUPHOScan 75 HD三維非接觸微小鏡片自動測量系統

      泰勒·霍普森公司（TAYLOR HOBSON）在近期全新推出一款高速、精密的三維非接觸式微小鏡片自動測量系統LUPHOScan 75 HD，實現了非接觸3D形貌測量的全自動化，可在120秒內完成調整、測量和分析。

LUPHOScan 75 HD具有更短的完整測量周期，為大批量生產帶來實驗室級的精度。只需單擊一下即可獲得始終如一的準確結果。任何級別的操作員都可以獲得快速、高精度的測量結果。

·     自動對準光學工件

·     使用FPP（Focal Point Pivot）技術實現更短的測量周期

·     高重復精度:≤30 nm PV  

·     優異的穩定性: Power變化<±15 nm ,  PV變化<±1.5 nm  

·     幾何特征分析:如與光學表面相關的定位坎合面和邊緣直徑

#測量原理

在測量過程中，傳感器在整個被測物體的表面進行螺旋式掃描，并生成高密度的三維數據。

工件在氣浮旋轉平臺上旋轉，傳感器在移動軸上沿工件徑向理論曲線移動從而完成掃描。

旋轉平臺使傳感器與物體表面保持垂直，移動軸的布局提供了很高的靈活性，能從容應對非常規的表面形狀(包括陡峭的坡度或帶有拐點的輪廓)。

▲LUPHOScan掃描傳感器的運動

#自動調心調平

新型LUPHOScan 75 HD增加了全新的自動調心調平臺，讓儀器真正實現自動化。

·     消除對操作員技能的依賴

·     通過自動可重復的調心和調平實現測量一致性

·     以更短的設置時間提高產能

·     “一鍵”對準、測量和分析 

#快速而簡便的工件設置

只需單擊一下，自動調心和調平就可以：

·     評估工件的偏心和傾斜狀態

·     將工件傾斜調整至< 5′′ 

·     將工件中心降至1μm偏心度

#為未來做好準備

LUPHOScan 75 HD面向未來，可實現完全自動化集成：

·     腳本功能，便于人機對話

·     OP-UA兼容性

·     優化流程，降本增效

#使用FPP (Focal Point Pivot)技術縮短測量時間

測量周期時間*多可縮短65%,且無精度損失!

·     傳感器焦點與軸心點對齊

·     ΔZ和 ΔR小 傳感器旋轉大

·     ΔZ和 ΔR小 → 測量速度更快

▲大圓弧鏡設計有助于縮短測量周期時間